EDX又名显微电子探针，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征X射线，由于不同元素原子的能级结构不同，因此产生特征X射线的特征不同，据此可对样品进行定性分析定性分析元素周期表中Be以上的物质元素。不同元素在不同位置出现峰，峰的高低代表元素的相对含量大小。